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wenzhoucmm新虫 (初入文坛)
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[求助]
新手求助,磁控溅射,在银上溅射SiO2二氧化硅
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求助,有谁做过在银上射频溅射二氧化硅么?我是先在玻璃片上直流溅射一层约50nm厚的银膜然后然后转射频溅射镀500nm厚的SiO2,样品拿出来一个小时后发现脱皮的现象,要怎么办呀?求高手相助! |
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dingwf
金虫 (正式写手)
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- 专业: 凝聚态物性 II :电子结构

2楼2012-04-28 10:50:09







求助,有谁做过在银上射频溅射二氧化硅么?我是先在玻璃片上直流溅射一层约50nm厚的银膜然后然后转射频溅射镀500nm厚的SiO2,样品拿出来一个小时后发现脱皮的现象,要怎么办呀?求高手相助!
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