| 查看: 3228 | 回复: 15 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
wenzhoucmm新虫 (初入文坛)
|
[求助]
新手求助，磁控溅射，在银上溅射SiO2二氧化硅
|
||
 求助，有谁做过在银上射频溅射二氧化硅么？我是先在玻璃片上直流溅射一层约50nm厚的银膜然后然后转射频溅射镀500nm厚的SiO2，样品拿出来一个小时后发现脱皮的现象，要怎么办呀？求高手相助！ |
回复此楼» 猜你喜欢
欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律
已经有89人回复
-
时间戳变了，能看出什么问题？
已经有5人回复
-
93BebMhtakh前后11位开头都是大写
已经有5人回复
-
感觉是下周放榜了
已经有11人回复
-
filecode=后面第一个是大写字母
已经有10人回复
-
哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜？
已经有15人回复
-
今天系统多次维护，明天很可能放榜！
已经有9人回复
-
时间戳又变了8-15
已经有25人回复
-
2027广东省杰青
已经有6人回复
-
快农历七夕节了，轻松一下，男人悄悄话，女施主请不要进来。
已经有3人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求助：磁控溅射镀金属膜，镀不上去
已经有4人回复
- 【讨论】这个“纳米二氧化硅”也太搞了，如何造假 Nano SiO2
已经有27人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 【求助】实验结果找不到解释，二氧化硅SiO2在高温下会挥发？
已经有24人回复
- 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
已经有14人回复
- 【求助】求助：磁控溅射问题
已经有20人回复
- 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉
已经有12人回复
- 【求助】磁控溅射仪相关
已经有8人回复
- 【求助】磁控溅射偏压为什么加不上
已经有12人回复
- 【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离
已经有20人回复
leongoall
专家顾问 (知名作家)
P-M-I之初生牛犊
- 应助: 144 (高中生)
- 贵宾: 0.055
- 金币: 7602.7
- 散金: 627
- 红花: 35
- 沙发: 3
- 帖子: 5347
- 在线: 1063小时
- 虫号: 490263
- 注册: 2008-01-03
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
- 管辖: 物理
【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
|
楼上几位说的可能不太正确！ 脱皮肯定是应力造成的！引起应力大的原因只有两种，一种是内部缺陷，一种是热膨胀系数的失配。这两种原因与最终表现出来的应力关系很复杂，但是大体可以分为两种：拉应力和压应力。 楼主首先观察脱皮的现象，脱下来的片状是向上凸的还是向下凹的，如果是向下凹，说明是拉应力，一般来说是主要是由于薄膜生长过快，缺陷积累就相应变得很快，可以适当降低镀膜过程中的溅射功率或降低溅射气体压强；如果片状物是向上凸（拱起来），说明是压应力，一般说来主要是由于热膨胀系数失配造成，可以考虑在镀膜过程中给基底加热，但是加热的温度需要查阅相关文献！ 祝好运！ |
7楼2012-04-29 01:40:26
dingwf
金虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1923.9
- 散金: 7
- 帖子: 553
- 在线: 52.4小时
- 虫号: 578059
- 注册: 2008-06-27
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
2楼2012-04-28 10:50:09
wenzhoucmm
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 68.3
- 红花: 1
- 帖子: 15
- 在线: 8.3小时
- 虫号: 1226944
- 注册: 2011-03-09
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2012-04-28 10:59:16
wenzhoucmm
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 68.3
- 红花: 1
- 帖子: 15
- 在线: 8.3小时
- 虫号: 1226944
- 注册: 2011-03-09
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2012-04-28 11:06:19
