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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 新手求助，磁控溅射，在银上溅射SiO2二氧化硅
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wenzhoucmm

新虫 (初入文坛)

[求助] 新手求助，磁控溅射，在银上溅射SiO2二氧化硅

求助，有谁做过在银上射频溅射二氧化硅么？我是先在玻璃片上直流溅射一层约50nm厚的银膜然后然后转射频溅射镀500nm厚的SiO2，样品拿出来一个小时后发现脱皮的现象，要怎么办呀？求高手相助！
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1楼 2012-04-28 08:55:02
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wenzhoucmm

新虫 (初入文坛)
背景真空是抽到5*10-4pa才开始镀的
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5楼2012-04-28 11:07:29
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dingwf

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
提高真空度吧，真空太低了。
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人的一生,有多少可以自己把握?
2楼2012-04-28 10:50:09
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wenzhoucmm

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by dingwf at 2012-04-28 10:50:09:
提高真空度吧，真空太低了。

什么是真空度？是降低镀SiO2的时候的压强么？我是在1Pa镀的
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3楼2012-04-28 10:59:16
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wenzhoucmm

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by dingwf at 2012-04-28 10:50:09:
提高真空度吧，真空太低了。

背景真空是抽到5×10-4pa,
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4楼2012-04-28 11:06:19
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