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pcsmine木虫 (著名写手)
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[求助]
磁控溅射真空度疑问？
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| 做铁电薄膜，用磁控溅射镀Pt电极，以前用的真空度是9*10-4Pa，后来觉得抽真空很费时，就改为1.5*10-3Pa，镀出来的效果感觉还行，但是测电滞回线感觉漏电流比以前大一些，不知道会不会是电极的影响，与溅射条件（真空度）有没有关系？有经验的虫子们能不能解释一下啊，谢谢！ |
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2楼2012-05-06 11:49:51