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关于不同基底制备薄膜的一个问题
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lvlukobe
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关于不同基底制备薄膜的一个问题
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做薄膜刚入门,很多不清楚。关于薄膜锂电池电极材料制备一直有一个问题,看到有些文献上是一种电极材料分别用石英基片、硅基片、镀金的石英基片镀膜,然后分别用来测厚度、晶型(XRD测)、电化学性质,一般基片对薄膜生长不是有影响么,那用了不同基片测试,岂不是没有统一变量么。。。想请教下虫友这个怎么看~~
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2012-04-16 00:16:18
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2012-04-16 09:09:03
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专业: 半导体材料
【答案】应助回帖
★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流
2012-04-16 10:03:11
lvlukobe: 金币+2,
★★★
很有帮助, 谢谢~~
2012-04-16 13:27:27
既然是在不同的基底上按照相同条件做同一种电极材料,那么由于薄膜沉积时的其他条件都相同,影响薄膜测厚度、晶型(XRD测)、电化学性质的因素便是不同基片性质不同造成的。
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2012-04-16 09:41:53
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专业: 半导体材料
【答案】应助回帖
测厚度要求基体极其平整,测光学性能要求有高透过性,还有其他不同的测试对基体要求都不一样的
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4楼
2015-01-16 15:00:31
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