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haha8081铁杆木虫 (著名写手)
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硅薄膜XRD及Raman测试深度
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我想请问一下，Cu靶的Kα射线(波长约1.5425Å ，平行光，入射角1°时，在硅薄膜中的穿透深度。是不是根据硅薄膜在此波长下的吸收系数来计算，那么此吸收系数是多少，是不是要由椭偏之类的仪器测试得出。聚焦光情况下穿透深度又是多少？Raman光谱仪波长为532nm的激光在硅薄膜中穿透深度又是多少，有资料显示约120nm左右，不知道是否合适。 不要考虑硅薄膜密度和体硅密度不同之类的细节，就按照理想的硅材料来说明。谢谢各位！ |
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