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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 光学材料 » 硅薄膜XRD及Raman测试深度
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haha8081

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] 硅薄膜XRD及Raman测试深度

我想请问一下，Cu靶的Kα射线(波长约1.5425Å，平行光，入射角1°时，在硅薄膜中的穿透深度。是不是根据硅薄膜在此波长下的吸收系数来计算，那么此吸收系数是多少，是不是要由椭偏之类的仪器测试得出。聚焦光情况下穿透深度又是多少？
Raman光谱仪波长为532nm的激光在硅薄膜中穿透深度又是多少，有资料显示约120nm左右，不知道是否合适。
不要考虑硅薄膜密度和体硅密度不同之类的细节，就按照理想的硅材料来说明。谢谢各位！
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1楼 2012-03-17 22:21:15
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孙?�730

至尊木虫 (知名作家)

优秀版主

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
haha8081: 金币+2, ★有帮助, XRD平行光和聚焦光都是全透么？那样的话，两种测试模式有什么区别。 2012-03-20 10:56:09
XRD全透 衍射 散射
Raman表面100nm尺度
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sunyu730_emuch@126.com
2楼2012-03-18 15:17:50
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孙?�730

至尊木虫 (知名作家)

优秀版主
引用回帖:
Originally posted by haha8081 at 2012-03-20 10:56:09:
恭喜，奖励通知，您的帖子获得奖励啦
http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=4261755&pid=2&page=1#pid2

haha8081: 金币+2, 有帮助, XRD平行光和聚焦光都是全透么？那样的话，两种测 ...

你做的叫小角衍射(散射) 因为样片很薄 必须聚焦 否则测试到的可能不是膜层 而是衬底的信息
赞一下 回复此楼
sunyu730_emuch@126.com
3楼2012-03-20 11:01:35
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