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weirdli

铁杆木虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射加热问题

请问用磁控溅射镀膜时对衬底进行加热，温控仪上的加热功率有限制吗，不能超过多少瓦，我用的仪器是沈阳科友的MS500B超高真空多靶磁控溅射
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1楼 2012-03-14 13:49:36
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userhung

禁虫 (文学泰斗)
★ ★
weirdli(金币+1): 谢谢参与
tuobaohua(金币+1): 鼓励交流，欢迎常来科研版！ 2012-03-15 08:26:32
https://wenku.baidu.com/view/6aa747ebe009581b6bd9ebe7.html
https://zhidao.baidu.com/question/195416990.html
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2楼2012-03-14 16:57:33
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yingying15883楼
2012-03-14 23:24  
weirdli(金币+1): 谢谢参与
祝福！！
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