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pqyz20

金虫 (初入文坛)

[求助] 电子束蒸发Zno之前要对Zno靶材进行烘烤吗?

我在电子束蒸发Zno的时候发现,如果不进行烘烤,那么在蒸发时气压会很大,但是无法生长Zno。500度烘烤Zno靶材之后,就没有问题了。
  请问有人遇到过类似情况吗?什么原因?是Zno靶材里面有水蒸气了吗?求解释。
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我是小啰嗦

铜虫 (初入文坛)


【答案】应助回帖

做电子束的氧化锌靶烘烤是不是致密度的原因呀,一般靶材都真空包装,用时直接採包装使用了啊,应该跟水分没问题吧,求解答,我也一直在找原因
3楼2013-09-24 08:57:59
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haode22

金虫 (正式写手)

建议进行烘烤,粉料或靶料容易吸附气体和水分。
逐渐成为工作狂,技术狂.............
2楼2012-03-12 10:51:44
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