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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 电子束蒸发Zno之前要对Zno靶材进行烘烤吗？
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pqyz20

金虫 (初入文坛)

[求助] 电子束蒸发Zno之前要对Zno靶材进行烘烤吗？

我在电子束蒸发Zno的时候发现，如果不进行烘烤，那么在蒸发时气压会很大，但是无法生长Zno。500度烘烤Zno靶材之后，就没有问题了。
  请问有人遇到过类似情况吗？什么原因？是Zno靶材里面有水蒸气了吗？求解释。
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创造一个完美的世界。
1楼 2012-03-12 10:48:54
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haode22

金虫 (正式写手)
建议进行烘烤，粉料或靶料容易吸附气体和水分。
赞一下 回复此楼
逐渐成为工作狂，技术狂.............
2楼2012-03-12 10:51:44
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我是小啰嗦

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

做电子束的氧化锌靶烘烤是不是致密度的原因呀，一般靶材都真空包装，用时直接採包装使用了啊，应该跟水分没问题吧，求解答，我也一直在找原因
赞一下 回复此楼
3楼2013-09-24 08:57:59
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