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电子束蒸发Zno之前要对Zno靶材进行烘烤吗?
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pqyz20
金虫
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虫号: 1023890
注册: 2010-05-20
性别: GG
专业: 凝聚态物性 II :电子结构
[
求助
]
电子束蒸发Zno之前要对Zno靶材进行烘烤吗?
我在电子束蒸发Zno的时候发现,如果不进行烘烤,那么在蒸发时气压会很大,但是无法生长Zno。500度烘烤Zno靶材之后,就没有问题了。
请问有人遇到过类似情况吗?什么原因?是Zno靶材里面有水蒸气了吗?求解释。
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2012-03-12 10:48:54
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haode22
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虫号: 754432
注册: 2009-04-22
性别: GG
专业: 半导体材料
建议进行烘烤,粉料或靶料容易吸附气体和水分。
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逐渐成为工作狂,技术狂.............
2楼
2012-03-12 10:51:44
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我是小啰嗦
铜虫
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虫号: 2632117
注册: 2013-09-03
性别:
MM
专业: 凝聚态物性I:结构、力学和
【答案】应助回帖
做电子束的氧化锌靶烘烤是不是致密度的原因呀,一般靶材都真空包装,用时直接採包装使用了啊,应该跟水分没问题吧,求解答,我也一直在找原因
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3楼
2013-09-24 08:57:59
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