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湿法刻蚀硅片和铝箔用什么做掩膜比较好？
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我想湿法刻蚀硅片和铝箔用什么做掩膜比较好？可不可以不用掩膜？ 硅片刻蚀溶液：硝酸+氢氟酸+醋酸 铝箔刻蚀溶液：磷酸+乙酸+硝酸+去离子水 硝酸和氢氟酸跟普通的光刻胶会发生反应，请问用什么做掩膜比较好，或者有没有其他好的刻蚀溶液？ |
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