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lionelning

铜虫 (初入文坛)

[求助] 求助Cu膜退火工艺

在硅片上镀了1微米的铜膜(有连接层Ti),退火目的是增强膜与基底的连接性,各位有谁做过吗?具体工艺参数是多少?温度,时间,设备~
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~淡泊明志 宁静致远~
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lswx1014

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
朋友联系我吧,我也是做这个的,我们一般用大约200°退火
5楼2012-02-29 12:38:22
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查看全部 5 个回答

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

多做几个样品,自己摸条件吧
这个别人没办法给你答案啊

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2012-02-28 09:37:50
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lionelning

铜虫 (初入文坛)

送鲜花一朵
引用回帖:
: Originally posted by wbcui at 2012-02-28 09:37:50:
多做几个样品,自己摸条件吧
这个别人没办法给你答案啊

嗯,准备试几种条件看看~
~淡泊明志 宁静致远~
3楼2012-02-28 09:57:27
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luoguoqiang

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
lionelning(金币+10): 有帮助 2012-02-29 19:32:53
温度和时间,可以参考Cu-Ti的相图,但是还是需要实验和测试方可;设备应该是真空加热设备。
4楼2012-02-29 11:35:01
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