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lionelning铜虫 (初入文坛)
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求助Cu膜退火工艺
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| 在硅片上镀了1微米的铜膜（有连接层Ti），退火目的是增强膜与基底的连接性，各位有谁做过吗？具体工艺参数是多少？温度，时间，设备~ |
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