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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 薄膜电阻和晶化的关系
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gcdxxiaona

银虫 (小有名气)

[交流] 薄膜电阻和晶化的关系

薄膜的电阻和薄膜结晶与否有没关系，有什么样的关系
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1楼 2012-02-20 16:09:39
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csa5344235

木虫 (正式写手)
★
gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
肯定是有关系的！！非晶态的薄膜用什么导电？
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2楼2012-02-20 21:08:08
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zpawl

铜虫 (小有名气)
★
gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
薄膜结晶度越好，电阻越小吧
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3楼2012-02-20 23:27:01
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)
★
gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
对半导体来说，一般是晶体质量越好、晶粒尺寸越大，那么晶界就越少，载流子被晶界散射的几率就越低，迁移率就越高。先是迁移率影响电阻率，到了比较大的晶粒尺寸时，电活性杂质浓度的影响就开始显著了。但只考虑结晶的话，应该是结晶越好，电阻率越低。
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4楼2012-02-21 10:21:11
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gcdxxiaona

银虫 (小有名气)
夕阳西下: 判断绝缘性主要是看能带结构。 2012-02-21 21:33:03
引用回帖:
4楼: Originally posted by SCU_magiclee at 2012-02-21 10:21:11:
对半导体来说，一般是晶体质量越好、晶粒尺寸越大，那么晶界就越少，载流子被晶界散射的几率就越低，迁移率就越高。先是迁移率影响电阻率，到了比较大的晶粒尺寸时，电活性杂质浓度的影响就开始显著了。但只考虑结 ...

非晶的就是绝缘的吗？就是还未晶化的半导体就是绝缘的吗？
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5楼2012-02-21 10:34:20
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by gcdxxiaona at 2012-02-21 10:34:20:
非晶的就是绝缘的吗？就是还未晶化的半导体就是绝缘的吗？

可以认为是绝缘的，但前提是杂质浓度很低，而且温度不高。。
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6楼2012-02-21 22:57:43
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bytianping

金虫 (正式写手)
★
gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
引用回帖:
6楼: Originally posted by SCU_magiclee at 2012-02-21 23:57:43:
可以认为是绝缘的，但前提是杂质浓度很低，而且温度不高。。

不能简单地这么说，有很多前提条件，比如：具有一定禁带宽度的半导体，未掺杂（本征态），非高温条件下。很多窄禁带或者半金属非晶薄膜即使未掺杂在室温下也是导电的。很典型的例子是TiN，非晶的导电性也近似金属。

[ Last edited by bytianping on 2012-2-22 at 15:51 ]
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7楼2012-02-22 14:47:24
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diamondfire

木虫 (正式写手)
★
gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
取决于薄膜的导电机制。
非晶存在空位，缺陷，自由体积，短程序破坏跃迁的选择性（k矢量分布比较混乱）这些都可能成为增加导电能力的通路。
当然，对于原本是导体的情况，这个上述讨论又往往得出相反的结论，因为上述因素常常会形成散射中心、俘获中心，阻碍电子输运，增大电阻。
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8楼2012-02-22 17:17:18
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foxs1

禁言 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
9楼2012-02-25 17:43:45
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