[交流] 薄膜电阻和晶化的关系

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1楼2012-02-20 16:09:39

csa5344235

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肯定是有关系的！！非晶态的薄膜用什么导电？

2楼2012-02-20 21:08:08

zpawl

铜虫 (小有名气)

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薄膜结晶度越好，电阻越小吧

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3楼2012-02-20 23:27:01

SCU_magiclee

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对半导体来说，一般是晶体质量越好、晶粒尺寸越大，那么晶界就越少，载流子被晶界散射的几率就越低，迁移率就越高。先是迁移率影响电阻率，到了比较大的晶粒尺寸时，电活性杂质浓度的影响就开始显著了。但只考虑结晶的话，应该是结晶越好，电阻率越低。

4楼2012-02-21 10:21:11

gcdxxiaona

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夕阳西下: 判断绝缘性主要是看能带结构。 2012-02-21 21:33:03

引用回帖:

4楼: Originally posted by SCU_magiclee at 2012-02-21 10:21:11:
对半导体来说，一般是晶体质量越好、晶粒尺寸越大，那么晶界就越少，载流子被晶界散射的几率就越低，迁移率就越高。先是迁移率影响电阻率，到了比较大的晶粒尺寸时，电活性杂质浓度的影响就开始显著了。但只考虑结 ...

非晶的就是绝缘的吗？就是还未晶化的半导体就是绝缘的吗？

5楼2012-02-21 10:34:20

SCU_magiclee

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引用回帖:

5楼: Originally posted by gcdxxiaona at 2012-02-21 10:34:20:
非晶的就是绝缘的吗？就是还未晶化的半导体就是绝缘的吗？

可以认为是绝缘的，但前提是杂质浓度很低，而且温度不高。。

6楼2012-02-21 22:57:43

bytianping

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6楼: Originally posted by SCU_magiclee at 2012-02-21 23:57:43:
可以认为是绝缘的，但前提是杂质浓度很低，而且温度不高。。

不能简单地这么说，有很多前提条件，比如：具有一定禁带宽度的半导体，未掺杂（本征态），非高温条件下。很多窄禁带或者半金属非晶薄膜即使未掺杂在室温下也是导电的。很典型的例子是TiN，非晶的导电性也近似金属。

[ Last edited by bytianping on 2012-2-22 at 15:51 ]

7楼2012-02-22 14:47:24