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薄膜电阻和晶化的关系
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gcdxxiaona
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[交流]
薄膜电阻和晶化的关系
薄膜的电阻和薄膜结晶与否有没关系,有什么样的关系
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2012-02-20 16:09:39
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SCU_magiclee
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5楼
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Originally posted by
gcdxxiaona
at 2012-02-21 10:34:20:
非晶的就是绝缘的吗?就是还未晶化的半导体就是绝缘的吗?
可以认为是绝缘的,但前提是杂质浓度很低,而且温度不高。。
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6楼
2012-02-21 22:57:43
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csa5344235
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gcdxxiaona(金币
+1
):谢谢参与
肯定是有关系的!!非晶态的薄膜用什么导电?
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2楼
2012-02-20 21:08:08
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zpawl
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gcdxxiaona(金币
+1
):谢谢参与
薄膜结晶度越好,电阻越小吧
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3楼
2012-02-20 23:27:01
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SCU_magiclee
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gcdxxiaona(金币
+1
):谢谢参与
对半导体来说,一般是晶体质量越好、晶粒尺寸越大,那么晶界就越少,载流子被晶界散射的几率就越低,迁移率就越高。先是迁移率影响电阻率,到了比较大的晶粒尺寸时,电活性杂质浓度的影响就开始显著了。但只考虑结晶的话,应该是结晶越好,电阻率越低。
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4楼
2012-02-21 10:21:11
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