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gcdxxiaona

银虫 (小有名气)


[交流] 薄膜电阻和晶化的关系

薄膜的电阻和薄膜结晶与否有没关系,有什么样的关系
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csa5344235

木虫 (正式写手)



gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
肯定是有关系的!!非晶态的薄膜用什么导电?
2楼2012-02-20 21:08:08
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zpawl

铜虫 (小有名气)



gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
薄膜结晶度越好,电阻越小吧
3楼2012-02-20 23:27:01
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)



gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
对半导体来说,一般是晶体质量越好、晶粒尺寸越大,那么晶界就越少,载流子被晶界散射的几率就越低,迁移率就越高。先是迁移率影响电阻率,到了比较大的晶粒尺寸时,电活性杂质浓度的影响就开始显著了。但只考虑结晶的话,应该是结晶越好,电阻率越低。
4楼2012-02-21 10:21:11
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gcdxxiaona

银虫 (小有名气)


夕阳西下: 判断绝缘性主要是看能带结构。 2012-02-21 21:33:03
引用回帖:
4楼: Originally posted by SCU_magiclee at 2012-02-21 10:21:11:
对半导体来说,一般是晶体质量越好、晶粒尺寸越大,那么晶界就越少,载流子被晶界散射的几率就越低,迁移率就越高。先是迁移率影响电阻率,到了比较大的晶粒尺寸时,电活性杂质浓度的影响就开始显著了。但只考虑结 ...

非晶的就是绝缘的吗?就是还未晶化的半导体就是绝缘的吗?
5楼2012-02-21 10:34:20
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)


引用回帖:
5楼: Originally posted by gcdxxiaona at 2012-02-21 10:34:20:
非晶的就是绝缘的吗?就是还未晶化的半导体就是绝缘的吗?

可以认为是绝缘的,但前提是杂质浓度很低,而且温度不高。。
6楼2012-02-21 22:57:43
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bytianping

金虫 (正式写手)



gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
引用回帖:
6楼: Originally posted by SCU_magiclee at 2012-02-21 23:57:43:
可以认为是绝缘的,但前提是杂质浓度很低,而且温度不高。。

不能简单地这么说,有很多前提条件,比如:具有一定禁带宽度的半导体,未掺杂(本征态),非高温条件下。很多窄禁带或者半金属非晶薄膜即使未掺杂在室温下也是导电的。很典型的例子是TiN,非晶的导电性也近似金属。

[ Last edited by bytianping on 2012-2-22 at 15:51 ]
7楼2012-02-22 14:47:24
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gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
取决于薄膜的导电机制。
非晶存在空位,缺陷,自由体积,短程序破坏跃迁的选择性(k矢量分布比较混乱)这些都可能成为增加导电能力的通路。
当然,对于原本是导体的情况,这个上述讨论又往往得出相反的结论,因为上述因素常常会形成散射中心、俘获中心,阻碍电子输运,增大电阻。
8楼2012-02-22 17:17:18
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foxs1

禁言 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
本帖内容被屏蔽

9楼2012-02-25 17:43:45
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