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薄膜电阻和晶化的关系
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gcdxxiaona
银虫
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(幼儿园)
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帖子: 82
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虫号: 1121240
[交流]
薄膜电阻和晶化的关系
薄膜的电阻和薄膜结晶与否有没关系,有什么样的关系
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1楼
2012-02-20 16:09:39
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foxs1
禁言
(初入文坛)
★
小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖
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9楼
2012-02-25 17:43:45
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查看全部 9 个回答
csa5344235
木虫
(正式写手)
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帖子: 566
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虫号: 1210944
★
gcdxxiaona(金币
+1
):谢谢参与
肯定是有关系的!!非晶态的薄膜用什么导电?
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2楼
2012-02-20 21:08:08
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zpawl
铜虫
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帖子: 142
在线: 207.1小时
虫号: 1503594
★
gcdxxiaona(金币
+1
):谢谢参与
薄膜结晶度越好,电阻越小吧
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3楼
2012-02-20 23:27:01
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SCU_magiclee
铁杆木虫
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物理EPI: 1
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(小学生)
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帖子: 735
在线: 1321.6小时
虫号: 282344
★
gcdxxiaona(金币
+1
):谢谢参与
对半导体来说,一般是晶体质量越好、晶粒尺寸越大,那么晶界就越少,载流子被晶界散射的几率就越低,迁移率就越高。先是迁移率影响电阻率,到了比较大的晶粒尺寸时,电活性杂质浓度的影响就开始显著了。但只考虑结晶的话,应该是结晶越好,电阻率越低。
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4楼
2012-02-21 10:21:11
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TA的回帖
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