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gcdxxiaona

银虫 (小有名气)


[交流] 薄膜电阻和晶化的关系

薄膜的电阻和薄膜结晶与否有没关系,有什么样的关系
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bytianping

金虫 (正式写手)


★
gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
引用回帖:
6楼: Originally posted by SCU_magiclee at 2012-02-21 23:57:43:
可以认为是绝缘的,但前提是杂质浓度很低,而且温度不高。。

不能简单地这么说,有很多前提条件,比如:具有一定禁带宽度的半导体,未掺杂(本征态),非高温条件下。很多窄禁带或者半金属非晶薄膜即使未掺杂在室温下也是导电的。很典型的例子是TiN,非晶的导电性也近似金属。

[ Last edited by bytianping on 2012-2-22 at 15:51 ]
7楼2012-02-22 14:47:24
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查看全部 9 个回答

csa5344235

木虫 (正式写手)


★
gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
肯定是有关系的!!非晶态的薄膜用什么导电?
2楼2012-02-20 21:08:08
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zpawl

铜虫 (小有名气)


★
gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
薄膜结晶度越好,电阻越小吧
3楼2012-02-20 23:27:01
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)


★
gcdxxiaona(金币+1):谢谢参与
对半导体来说,一般是晶体质量越好、晶粒尺寸越大,那么晶界就越少,载流子被晶界散射的几率就越低,迁移率就越高。先是迁移率影响电阻率,到了比较大的晶粒尺寸时,电活性杂质浓度的影响就开始显著了。但只考虑结晶的话,应该是结晶越好,电阻率越低。
4楼2012-02-21 10:21:11
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