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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 综合其它 » 高温处理硅片
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jujunping

木虫 (小有名气)

[求助] 高温处理硅片

请教大家一个问题：我想用马弗炉高温氧化硅片，没有成功，想请教大家是怎么处理，处理温度时多少，处理时间是多少，是否预处理？
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1楼 2012-01-11 10:02:08
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紫荆空间

银虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
通氧气，高温试一试，六百多度差不多吧。
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2楼2012-01-11 11:59:51
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jujunping

木虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by 紫荆空间 at 2012-01-11 11:59:51:
通氧气，高温试一试，六百多度差不多吧。

你试验过吗，我已经做了好几次都没有成功。
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3楼2012-01-11 22:15:25
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olympig

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
Missile521(金币+1): 鼓励回帖交流~ 2012-01-12 10:56:10
我公司是生产硅片的，600度短时间（30min）退火经常做（因为电阻率氧施主），600度以下短时间退火氧化不明显，外观没变化。过700-800度加热会氧化，表面有点发白，1h左右。
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4楼2012-01-12 08:42:48
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jujunping

木虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by olympig at 2012-01-12 08:42:48:
我公司是生产硅片的，600度短时间（30min）退火经常做（因为电阻率氧施主），600度以下短时间退火氧化不明显，外观没变化。过700-800度加热会氧化，表面有点发白，1h左右。

氧化之后表面好像是发蓝呢，而却我想问一下加热过程中通氧气了吗
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5楼2012-01-12 08:48:09
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olympig

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by jujunping at 2012-01-12 08:48:09:
氧化之后表面好像是发蓝呢，而却我想问一下加热过程中通氧气了吗

我们是生产硅片，所以不通氧气，楼主可以查查硅片关于osf实验和半导体的资料，看到过通空气的
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6楼2012-01-12 12:45:46
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紫荆空间

银虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by jujunping at 2012-01-11 22:15:25:
你试验过吗，我已经做了好几次都没有成功。

没试验过呢，我只是感觉通氧气，高温处理会被氧化吧，具体的不清楚
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7楼2012-01-12 15:23:04
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