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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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jujunping

木虫 (小有名气)

[求助] 高温处理硅片

请教大家一个问题:我想用马弗炉高温氧化硅片,没有成功,想请教大家是怎么处理,处理温度时多少,处理时间是多少,是否预处理?
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紫荆空间

银虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
通氧气,高温试一试,六百多度差不多吧。
2楼2012-01-11 11:59:51
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jujunping

木虫 (小有名气)

引用回帖:
: Originally posted by 紫荆空间 at 2012-01-11 11:59:51:
通氧气,高温试一试,六百多度差不多吧。

你试验过吗,我已经做了好几次都没有成功。
3楼2012-01-11 22:15:25
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olympig

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
Missile521(金币+1): 鼓励回帖交流~ 2012-01-12 10:56:10
我公司是生产硅片的,600度短时间(30min)退火经常做(因为电阻率氧施主),600度以下短时间退火氧化不明显,外观没变化。过700-800度加热会氧化,表面有点发白,1h左右。
4楼2012-01-12 08:42:48
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jujunping

木虫 (小有名气)

引用回帖:
: Originally posted by olympig at 2012-01-12 08:42:48:
我公司是生产硅片的,600度短时间(30min)退火经常做(因为电阻率氧施主),600度以下短时间退火氧化不明显,外观没变化。过700-800度加热会氧化,表面有点发白,1h左右。

氧化之后表面好像是发蓝呢,而却我想问一下加热过程中通氧气了吗
5楼2012-01-12 08:48:09
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olympig

新虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by jujunping at 2012-01-12 08:48:09:
氧化之后表面好像是发蓝呢,而却我想问一下加热过程中通氧气了吗

我们是生产硅片,所以不通氧气,楼主可以查查硅片关于osf实验和半导体的资料,看到过通空气的
6楼2012-01-12 12:45:46
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紫荆空间

银虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by jujunping at 2012-01-11 22:15:25:
你试验过吗,我已经做了好几次都没有成功。

没试验过呢,我只是感觉通氧气,高温处理会被氧化吧,具体的不清楚
7楼2012-01-12 15:23:04
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