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浅夏8838

金虫 (小有名气)

[求助] 射频磁控溅射镀膜都可以通入哪些气体

如题,请教磁控溅射镀膜时除了氩气和氮气还可以通入什么气体溅射或辅助溅射?????非常感谢~~~~
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谢威

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
反应气体有甲烷,乙炔,氧气,氮气,氯化氟等等,工作气体:惰性气体如氦气,氖气,氩气,氪气等等
11楼2012-02-06 09:02:04
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