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射频磁控溅射镀膜都可以通入哪些气体
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如题,请教磁控溅射镀膜时除了氩气和氮气还可以通入什么气体溅射或辅助溅射?????非常感谢~~~~![]() ![]() ![]() |
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11楼2012-02-06 09:02:04














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