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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 普通的直流溅射与直流磁控溅射，那个镀的膜层效果会好一些？谢谢！
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jhnini

铜虫 (小有名气)

[求助] 普通的直流溅射与直流磁控溅射，那个镀的膜层效果会好一些？谢谢！

普通的直流溅射与直流磁控溅射，在金属基体上镀膜，哪个镀的膜层效果会好一些？
在溅射过程中，适当地升高基体的温度，会不会对膜层的致密度有好的影响呢？
非常感谢~~~~
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1楼 2011-09-28 01:59:44
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taolp

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
lchpy(金币+1): thanks for your informations 2011-10-06 20:02:47
一般而言衬底温度高会导致薄膜的晶粒粗大，温度低或者溅射速率慢的话形成的晶粒会细小些
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I'll be back
3楼2011-10-06 19:27:51
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lijunjie84

版主 (职业作家)

隐者

优秀版主

【答案】应助回帖

★
jhnini(金币+2): 2011-09-29 07:14:27
lchpy(金币+1): thanks for your informations 2011-10-06 20:02:42
磁控好点！现在多用磁控溅射吧！
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2011-09-28 13:30:52
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