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napro

金虫 (正式写手)


[交流] 请问下Si衬底做XRD有哪些衍射峰?2θ<5度以下有峰吗?

请问下Si衬底做XRD有哪些衍射峰?2θ<5度以下有峰吗?谢谢~
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★
napro(金币+1):谢谢参与
一般不扫描5度一下的!
5楼2011-09-10 13:39:58
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查看全部 10 个回答

xhtangxh

木虫 (著名写手)


★ ★
napro(金币+1):谢谢参与
napro(金币+4): 2011-09-10 13:37:25
drg1984(金币+1): 感谢回帖交流! 2011-09-10 13:39:31
2θ<5度以下不会有峰。
不明白你所说的Si衬底是什么方式,是指单晶硅沿某晶面切割成平面作为样品架那样的衬底,还是普通的硅基片作为沉积物负载用的衬底?在样品覆盖不够或X射线可能透过样品层时,如果是前者会有切割晶面衍射峰,若是后者则会有Si 的衍射峰,具体的衍射峰可以查JCPDS No.27-1402。
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Note : Wavelength of 0.15406nm
2楼2011-09-10 11:03:40
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napro

金虫 (正式写手)


你好,我的是普通的硅基片作为沉积物负载用的衬底,蒸镀上一层几十nm厚德膜,发现5度以下有峰,单独做空白就有这个峰。不知怎么回事。跟仪器有关吗?
3楼2011-09-10 12:21:03
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napro

金虫 (正式写手)


问题是样品在小角有峰啊
7楼2011-09-10 17:39:51
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