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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » 请问下Si衬底做XRD有哪些衍射峰？2θ<5度以下有峰吗？
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napro

金虫 (正式写手)

[交流] 请问下Si衬底做XRD有哪些衍射峰？2θ<5度以下有峰吗？

请问下Si衬底做XRD有哪些衍射峰？2θ<5度以下有峰吗？谢谢~
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1楼 2011-09-09 19:08:26
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napro

金虫 (正式写手)
你好，我的是普通的硅基片作为沉积物负载用的衬底，蒸镀上一层几十nm厚德膜，发现5度以下有峰，单独做空白就有这个峰。不知怎么回事。跟仪器有关吗？
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3楼2011-09-10 12:21:03
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xhtangxh

木虫 (著名写手)
★ ★
napro(金币+1):谢谢参与
napro(金币+4): 2011-09-10 13:37:25
drg1984(金币+1): 感谢回帖交流！ 2011-09-10 13:39:31
2θ<5度以下不会有峰。
不明白你所说的Si衬底是什么方式，是指单晶硅沿某晶面切割成平面作为样品架那样的衬底，还是普通的硅基片作为沉积物负载用的衬底？在样品覆盖不够或X射线可能透过样品层时，如果是前者会有切割晶面衍射峰，若是后者则会有Si 的衍射峰，具体的衍射峰可以查JCPDS No.27-1402。
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         6         2         0        0.8587           8
         5         3         3        0.8282           3
Note : Wavelength of 0.15406nm
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2楼2011-09-10 11:03:40
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drg1984

荣誉版主 (著名写手)
★
napro(金币+1):谢谢参与
一般不扫描5度一下的！
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5楼2011-09-10 13:39:58
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napro

金虫 (正式写手)
问题是样品在小角有峰啊
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7楼2011-09-10 17:39:51
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