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napro

金虫 (正式写手)

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[交流] 请问下Si衬底做XRD有哪些衍射峰？2θ<5度以下有峰吗？

请问下Si衬底做XRD有哪些衍射峰？2θ<5度以下有峰吗？谢谢~

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1楼2011-09-09 19:08:26

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xhtangxh

木虫 (著名写手)

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★ ★
napro(金币+1):谢谢参与
napro(金币+4): 2011-09-10 13:37:25
drg1984(金币+1): 感谢回帖交流！ 2011-09-10 13:39:31

2θ<5度以下不会有峰。
不明白你所说的Si衬底是什么方式，是指单晶硅沿某晶面切割成平面作为样品架那样的衬底，还是普通的硅基片作为沉积物负载用的衬底？在样品覆盖不够或X射线可能透过样品层时，如果是前者会有切割晶面衍射峰，若是后者则会有Si 的衍射峰，具体的衍射峰可以查JCPDS No.27-1402。
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Note : Wavelength of 0.15406nm