| 查看: 3150 | 回复: 7 | |||
[求助]
可以用负胶做掩模刻蚀氮化硅吗？
|
|
目的：在硅片上刻蚀结构。 方法：先在硅片上镀一层氮化硅，用作硅刻蚀的硬掩模。在氮化硅上刻蚀结构时，使用光刻胶做掩模。我选用了SU-8光刻胶，但是涂胶的时候SU-8在片子上很难铺展开，而且很容易聚集成一块。请问有人遇到类似的情况吗？刻蚀氮化硅能用负胶做掩模吗？谢谢大家了~ |
回复此楼» 猜你喜欢
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有287人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 自科基金负责人暂时在国外，签字页用传真的可以吗？
已经有5人回复
- 各种优秀简历及模板【转载】
已经有214人回复
- 求程序 模拟点蚀的元胞自动机程序
已经有8人回复
- 求助，DGGE的玻板在哪儿可以买到呢，就是做胶时用的那个，谢谢了。
已经有8人回复
- ISO致心肌缺血模型
已经有17人回复
- 可以环形质粒直接做模板吗
已经有8人回复
- 机器学习、模式识别、数据挖掘的关系
已经有29人回复
- 关于蚀刻技术的分类
已经有6人回复
- 【模板】完美幻灯演示之路
已经有299人回复
- 【求助】氢氟酸刻蚀硅片，粗糙度是怎么变化的啊？
已经有16人回复
- 【求助】新手上路请不吝赐教（荧光法测临界胶束浓度原理）
已经有4人回复
xishuang123
铁虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 827.9
- 帖子: 28
- 在线: 157.1小时
- 虫号: 1249114
- 注册: 2011-03-29
- 性别: MM
- 专业: 半导体材料
2楼2011-08-29 20:38:47
xiangnan121
至尊木虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 13001.6
- 帖子: 800
- 在线: 420小时
- 虫号: 965552
- 注册: 2010-03-09
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
3楼2011-09-12 19:26:28
lulinsmann
木虫 (著名写手)
三无小小鸟
- 应助: 90 (初中生)
- 金币: 10459.2
- 散金: 125
- 红花: 7
- 帖子: 2465
- 在线: 693.4小时
- 虫号: 386161
- 注册: 2007-05-29
- 性别: GG
- 专业: 光学和光电子材料
4楼2011-09-12 20:45:18
★ ★ ★ ★ ★
金光闪闪2010(金币-5): 广告 2011-09-14 08:43:44
金光闪闪2010(金币-5): 广告 2011-09-14 08:43:44
|
SU8甩不开，是因为你选的型号胶太厚了。要知道不同型号的SU8厚度差上百倍~~ 建议选一种几微米的光刻胶，做实验其实选正胶更方便的，比如AZ1500（3~4微米）。曝光后用CHF3气体RIE刻蚀将图形传递到氮化硅膜层上，一定要保证完全刻穿。氮化硅厚度应该是只有几百纳米到一两个微米吧？然后换SF6+O2混合气体刻硅至你想要的深度。 我实验室有磁控溅射、电子束蒸镀、LPCVD，可以镀Cr、Al2O3、Si、SiO2、Si3N4等。 联系电话：15108299816赵工 邮箱：zyy44138172@126.com |
5楼2011-09-13 23:07:51
6楼2011-09-15 11:25:19
jufayin
至尊木虫 (文坛精英)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 19112.7
- 红花: 1
- 帖子: 14119
- 在线: 165.5小时
- 虫号: 691362
- 注册: 2009-01-11
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
7楼2012-07-06 13:11:11
highpy
木虫 (知名作家)
- 应助: 28 (小学生)
- 金币: 10377.4
- 散金: 7157
- 红花: 29
- 帖子: 8879
- 在线: 1110.6小时
- 虫号: 1937580
- 注册: 2012-08-13
- 专业: 物理学II
8楼2012-09-04 11:11:42
投票:
