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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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月夜1546

金虫 (小有名气)

[求助] 硅 深度刻蚀

我想用湿法刻蚀方法(KOH刻蚀液)对P型(100)硅做深度刻蚀。深度大约是在250微米左右。请问各位,只在硅表面用热氧生长一层SiO2作为掩膜层抗腐蚀。这样做能刻蚀这么深吗?
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


【答案】应助回帖

月夜1546(金币+5): 2011-08-12 08:53:37
可以的,但是要注意晶向
2楼2011-08-12 01:47:38
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hyliu0203

木虫 (正式写手)

线宽多少,pitch多少;向这种等相性蚀刻的侧向蚀刻能否接受!!?
3楼2013-03-01 16:52:14
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