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硅 深度刻蚀
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| 我想用湿法刻蚀方法（KOH刻蚀液）对P型（100）硅做深度刻蚀。深度大约是在250微米左右。请问各位，只在硅表面用热氧生长一层SiO2作为掩膜层抗腐蚀。这样做能刻蚀这么深吗？ |
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hyliu0203
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3楼2013-03-01 16:52:14