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ballack315629金虫 (著名写手)
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PZT 薄膜开裂 已有1人参与
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| 最近用有机源做PZT sol gel 然后spin coating做薄膜 由于实验条件限制 我现在是用的si/Au wafer, 我将PZT sol 溶液spin coating后，然后用传统的炉子多段升温退火，但我发现最后的薄膜有很多裂纹。我想请问下你有哪些原因呢。因为目前 我只能估计是我用的wafer，没有很好的buffer layer，造成传统退火时 在界面原子扩散反应严重 且si，Au的热膨胀系数不一致也会导致开裂。 请各位虫友 给点经验 |
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