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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 陶瓷材料 » PZT 薄膜开裂
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ballack315629

金虫 (著名写手)

[交流] PZT 薄膜开裂 已有1人参与

最近用有机源做PZT sol gel 然后spin coating做薄膜 由于实验条件限制 我现在是用的si/Au wafer, 我将PZT sol 溶液spin coating后，然后用传统的炉子多段升温退火，但我发现最后的薄膜有很多裂纹。我想请问下你有哪些原因呢。因为目前 我只能估计是我用的wafer，没有很好的buffer layer，造成传统退火时 在界面原子扩散反应严重 且si，Au的热膨胀系数不一致也会导致开裂。 请各位虫友 给点经验
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1楼 2011-08-03 22:36:12
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liulongdong

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
Missile521(金币+1): 鼓励回帖交流~ 2011-10-21 07:55:50
前面那图是开裂了，后面那张是晶界吧，没发现开裂啊
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2楼2011-10-20 14:32:19
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ballack315629

金虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by liulongdong at 2011-10-20 14:32:19:
前面那图是开裂了，后面那张是晶界吧，没发现开裂啊

但是感觉有很多小颗粒出现啊 不知道 是不是薄膜受什么污染了
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3楼2011-10-21 22:59:56
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