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greenhaw

金虫 (初入文坛)

[交流] 蒸发镀膜真空度问题讨论 已有4人参与

蒸发镀膜过程中,真空度一般都在10-2Pa左右,真空度过低可能会影响蒸发出来分子能量,降低膜层品质,但是真空度升高到10-3Pa,10-4Pa左右时对蒸发镀膜有什么影响?
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xiaoqing8569

铁杆木虫 (著名写手)

奥林匹亚光学院院长


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by greenhaw at 2011-07-16 10:10:18:
知道就说,不知道就闭嘴。

不要激动。

  真空度高了,自由程长,成膜致密,成膜折射率高。但是真空度对薄膜应力也有影响,不同材料的真空度要求不一样。
   真空度分本底真空度和工作气压,因为有些薄膜镀制过程中是需要充气体的。
6楼2011-07-27 09:07:37
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查看全部 7 个回答

cord

铁杆木虫 (著名写手)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
做做实验就知道了,不要什么问题都来问。
2楼2011-07-15 01:23:47
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andyzhao5858

木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-16 07:56:07
看你做啥材料了,不同的膜对真空度要求是不同的
3楼2011-07-15 19:26:02
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greenhaw

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by cord at 2011-07-15 01:23:47:
做做实验就知道了,不要什么问题都来问。

知道就说,不知道就闭嘴。
4楼2011-07-16 10:10:18
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