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greenhaw

金虫 (初入文坛)

[交流] 蒸发镀膜真空度问题讨论 已有4人参与

蒸发镀膜过程中,真空度一般都在10-2Pa左右,真空度过低可能会影响蒸发出来分子能量,降低膜层品质,但是真空度升高到10-3Pa,10-4Pa左右时对蒸发镀膜有什么影响?
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andyzhao5858

木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-16 07:56:07
看你做啥材料了,不同的膜对真空度要求是不同的
3楼2011-07-15 19:26:02
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cord

铁杆木虫 (著名写手)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
做做实验就知道了,不要什么问题都来问。
2楼2011-07-15 01:23:47
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greenhaw

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by cord at 2011-07-15 01:23:47:
做做实验就知道了,不要什么问题都来问。

知道就说,不知道就闭嘴。
4楼2011-07-16 10:10:18
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greenhaw

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by andyzhao5858 at 2011-07-15 19:26:02:
看你做啥材料了,不同的膜对真空度要求是不同的

因为我们设备的APC损坏,无法稳定压力,蒸发基本都在10-3Pa左右进行,未发现明显异常,如果这样可以还要APC干什么?
5楼2011-07-16 10:13:43
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