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xiaomuchong5

新虫 (小有名气)

[交流] 【讨论】真空镀膜得到的几十纳米的金膜,不牢固,有什么办法可以使之稳固?

研究中,每次真空镀膜得到的金膜发现非常的不牢固,甚至酒精稍微冲洗下就掉了一块,高温500度就开裂,等。。。
各位,有什么办法可以使之牢固点呢。
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apolloljy

银虫 (小有名气)

一般先镀一层Ti或者Cr再镀金,较厚一些的Au,比例是10:1,较薄的则钛和铬不能成膜,最少一般10nm~20nm
还有和你的基底也有关系,镀膜前最好先用等离子体打几分钟,清理表面,材质的话,玻璃表面很不容易粘合
2楼2010-10-28 19:02:36
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普通回帖

maoxiong

铁杆木虫 (正式写手)

先镀一层Cr再镀金
3楼2010-10-28 20:04:49
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atlantic3982

金虫 (小有名气)

基底的情节程度,蒸镀腔体的真空度,粘附层(Cr或者Ti)的纯度都是可能影响粘附性的因素,一一排查
其中粘附层,我最近的蒸镀效果来看是Cr比Ti好,但是不知道什么原因导致的
4楼2010-10-29 11:04:26
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dazhi7758

至尊木虫 (著名写手)

不清楚,不过退下火是否能有效果呢
5楼2010-10-29 17:00:13
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dazhi7758

至尊木虫 (著名写手)

开裂应该与热膨胀系数有关吧
6楼2010-10-29 17:02:10
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huangjiangta

银虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by atlantic3982 at 2010-10-29 11:04:26:
基底的情节程度,蒸镀腔体的真空度,粘附层(Cr或者Ti)的纯度都是可能影响粘附性的因素,一一排查
其中粘附层,我最近的蒸镀效果来看是Cr比Ti好,但是不知道什么原因导致的

什么基地
7楼2011-01-06 10:11:05
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zidanekaka

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by atlantic3982 at 2010-10-29 11:04:26:
基底的情节程度,蒸镀腔体的真空度,粘附层(Cr或者Ti)的纯度都是可能影响粘附性的因素,一一排查
其中粘附层,我最近的蒸镀效果来看是Cr比Ti好,但是不知道什么原因导致的

真空度高些 ?
8楼2011-01-06 20:26:05
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huangjiangta

银虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by xiaomuchong5 at 2010-10-27 21:15:37:
研究中,每次真空镀膜得到的金膜发现非常的不牢固,甚至酒精稍微冲洗下就掉了一块,高温500度就开裂,等。。。
各位,有什么办法可以使之牢固点呢。

什么基地啊
9楼2011-01-07 21:25:57
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huangjiangta

银虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by dazhi7758 at 2010-10-29 17:02:10:
开裂应该与热膨胀系数有关吧

也有可能 应力大
10楼2011-01-07 21:26:27
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