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greenhaw

金虫 (初入文坛)

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[交流] 蒸发镀膜真空度问题讨论已有4人参与

蒸发镀膜过程中，真空度一般都在10-2Pa左右，真空度过低可能会影响蒸发出来分子能量，降低膜层品质，但是真空度升高到10-3Pa，10-4Pa左右时对蒸发镀膜有什么影响？

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1楼2011-07-14 20:12:49

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xiaoqing8569

铁杆木虫 (著名写手)

奥林匹亚光学院院长

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引用回帖:

Originally posted by greenhaw at 2011-07-16 10:10:18:
知道就说，不知道就闭嘴。

不要激动。

真空度高了，自由程长，成膜致密，成膜折射率高。但是真空度对薄膜应力也有影响，不同材料的真空度要求不一样。
真空度分本底真空度和工作气压，因为有些薄膜镀制过程中是需要充气体的。

赞一下(2人)

6楼2011-07-27 09:07:37

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