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铁电薄膜底电极的热处理？
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| 各位大神，我做的是PZT铁电薄膜，由于实验条件所限，底电极一组是溅射的Cu，一组是喷的Au，文献里说底电极要做热处理，但是没提到过Cu电极的热处理，Au的热处理也很少，而且文献里的Au电极也是溅射的或者是蒸镀的，我们没这个条件。请问一下，底电极如果不进行热处理对铁电薄膜的电性能有何影响，求解释和文献都行？？？各位大神帮帮忙啊。。。。。O(∩_∩)O谢谢 |
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2楼2011-04-22 08:19:28
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