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cjc2007

铁虫 (初入文坛)

[求助] 铁电薄膜底电极的热处理?

各位大神,我做的是PZT铁电薄膜,由于实验条件所限,底电极一组是溅射的Cu,一组是喷的Au,文献里说底电极要做热处理,但是没提到过Cu电极的热处理,Au的热处理也很少,而且文献里的Au电极也是溅射的或者是蒸镀的,我们没这个条件。请问一下,底电极如果不进行热处理对铁电薄膜的电性能有何影响,求解释和文献都行???各位大神帮帮忙啊。。。。。O(∩_∩)O谢谢
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tickychao206

银虫 (小有名气)


zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-07 07:49:26
你可以不做底电极的呢,直接用平面电极也可以测介电常数和损耗
正心修身!
4楼2011-07-06 20:12:10
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查看全部 9 个回答

mse507

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


cjc2007(金币+5): 2011-04-22 21:28:49
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-07 07:49:16
引用回帖:
Originally posted by cjc2007 at 2011-04-22 01:52:31:
各位大神,我做的是PZT铁电薄膜,由于实验条件所限,底电极一组是溅射的Cu,一组是喷的Au,文献里说底电极要做热处理,但是没提到过Cu电极的热处理,Au的热处理也很少,而且文献里的Au电极也是溅射的或者是蒸镀的 ...

Cu和Au作为底电极来用难度太高了, 你采用什么衬底? 如果是Si,PZT薄膜热处理时电极就会脱落。如果不是什么技术机密的话,能否说说为什么还做PZT薄膜,而不做无铅的铁电薄膜?
3楼2011-04-22 19:11:39
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wxjabc

金虫 (小有名气)


引用回帖:
4楼: Originally posted by tickychao206 at 2011-07-06 20:12:10:
你可以不做底电极的呢,直接用平面电极也可以测介电常数和损耗

请教怎么测? 如何计算电容等电性能参数?
5楼2011-08-05 20:03:29
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xiao_sdu

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by tickychao206 at 2011-07-06 20:12:10:
你可以不做底电极的呢,直接用平面电极也可以测介电常数和损耗

这样不会有空气的影响?
努力
7楼2011-11-27 23:13:56
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