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cjc2007

铁虫 (初入文坛)

[求助] 铁电薄膜底电极的热处理？

各位大神，我做的是PZT铁电薄膜，由于实验条件所限，底电极一组是溅射的Cu，一组是喷的Au，文献里说底电极要做热处理，但是没提到过Cu电极的热处理，Au的热处理也很少，而且文献里的Au电极也是溅射的或者是蒸镀的，我们没这个条件。请问一下，底电极如果不进行热处理对铁电薄膜的电性能有何影响，求解释和文献都行？？？各位大神帮帮忙啊。。。。。O(∩_∩)O谢谢
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1楼 2011-04-22 01:52:31
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luran1217

新虫 (初入文坛)
可不可给详细的示意图呢？
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9楼2012-05-10 16:10:50
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mse507

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
cjc2007(金币+5): 2011-04-22 21:28:49
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-07 07:49:16
引用回帖:
Originally posted by cjc2007 at 2011-04-22 01:52:31:
各位大神，我做的是PZT铁电薄膜，由于实验条件所限，底电极一组是溅射的Cu，一组是喷的Au，文献里说底电极要做热处理，但是没提到过Cu电极的热处理，Au的热处理也很少，而且文献里的Au电极也是溅射的或者是蒸镀的 ...

Cu和Au作为底电极来用难度太高了, 你采用什么衬底? 如果是Si,PZT薄膜热处理时电极就会脱落。如果不是什么技术机密的话，能否说说为什么还做PZT薄膜，而不做无铅的铁电薄膜？
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3楼2011-04-22 19:11:39
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tickychao206

银虫 (小有名气)
★
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-07 07:49:26
你可以不做底电极的呢，直接用平面电极也可以测介电常数和损耗
赞一下(1人) 回复此楼
正心修身！
4楼2011-07-06 20:12:10
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wxjabc

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by tickychao206 at 2011-07-06 20:12:10:
你可以不做底电极的呢，直接用平面电极也可以测介电常数和损耗

请教怎么测？ 如何计算电容等电性能参数？
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5楼2011-08-05 20:03:29
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