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cjc2007

铁虫 (初入文坛)

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[求助] 铁电薄膜底电极的热处理？

各位大神，我做的是PZT铁电薄膜，由于实验条件所限，底电极一组是溅射的Cu，一组是喷的Au，文献里说底电极要做热处理，但是没提到过Cu电极的热处理，Au的热处理也很少，而且文献里的Au电极也是溅射的或者是蒸镀的，我们没这个条件。请问一下，底电极如果不进行热处理对铁电薄膜的电性能有何影响，求解释和文献都行？？？各位大神帮帮忙啊。。。。。O(∩_∩)O谢谢

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1楼 2011-04-22 01:52:31

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mse507

木虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

★
cjc2007(金币+5): 2011-04-22 21:28:49
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-07 07:49:16

引用回帖:

Originally posted by cjc2007 at 2011-04-22 01:52:31:
各位大神，我做的是PZT铁电薄膜，由于实验条件所限，底电极一组是溅射的Cu，一组是喷的Au，文献里说底电极要做热处理，但是没提到过Cu电极的热处理，Au的热处理也很少，而且文献里的Au电极也是溅射的或者是蒸镀的 ...

Cu和Au作为底电极来用难度太高了, 你采用什么衬底? 如果是Si,PZT薄膜热处理时电极就会脱落。如果不是什么技术机密的话，能否说说为什么还做PZT薄膜，而不做无铅的铁电薄膜？