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【请教】关于铜衬底磁控镀膜问题
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关于在铜衬底上采用磁控溅射方法溅射镀合金薄膜的问题: (1)铜衬底上的薄膜文献甚少,各位朋友如果手边有类似的文献,请帖几篇上来,多谢了。 (2)在铜上镀膜不太容易,一是表面处理问题,二是薄膜的结合强度不好,薄膜容易脱落,请教好的表面处理方法,或者镀制中间层,什么层与铜最匹配? (3)我找了整个小木虫,发现没有关于薄膜和涂层的版块,建议开辟一个新的关于薄膜和涂层的表面。这样做这方面研究的朋友们就比较方便讨论了。 谢谢! |
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我也做合金薄膜的
我也是做溅射的,希望有个专门的平台和大家沟通。我用的镍做衬底提高膜基的结合力,你试试看。