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新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】有关用合金靶磁控溅射氧化锌薄膜的问题

我所镀的氧化锌薄膜总出现颗粒大小不均匀的情况，而且溅射的时候电压总不能稳定，时而上升时而减小，多半是上升，一次实验下来要浮动几十伏特。功率在125瓦，电流0.5左右，电压250左右。附件有两张SEM，希望有大侠能指点迷津，太感谢了

专家一定要帮帮我啊！！！

1楼 2011-03-05 14:03:13

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金虫 (正式写手)

锌的熔点低只有400多度，而且低温下饱和蒸气压也很高，进入真空系统后温度稍高点就能超过本低真空。磁控溅射离子轰击能产生上万度高温，一碰就冒烟。锌和含锌的合金是应该严格禁止放入高真空系统的。

2楼2011-03-05 16:16:59

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木虫 (小有名气)

我说一说，不一定对，互相交流一下。
你的电压是250V，溅射过程有几十伏的波动应该是不正常的。我估计是溅射过程的气压不稳定。
看了你的SEM形貌，请问你的膜是不是比较厚？我做的几十个纳米厚的薄膜是圆球状的，不过800多纳米的薄膜也和你差不多。

3楼2011-03-14 11:17:11

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