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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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happycc288

新虫 (初入文坛)


[交流] 【求助】有关用合金靶磁控溅射氧化锌薄膜的问题

我所镀的氧化锌薄膜总出现颗粒大小不均匀的情况,而且溅射的时候电压总不能稳定,时而上升时而减小,多半是上升,一次实验下来要浮动几十伏特。功率在125瓦,电流0.5左右,电压250左右。附件有两张SEM,希望有大侠能指点迷津,太感谢了  专家一定要帮帮我啊!!!
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hrandy

金虫 (正式写手)


锌的熔点低只有400多度,而且低温下饱和蒸气压也很高,进入真空系统后温度稍高点就能超过本低真空。磁控溅射离子轰击能产生上万度高温,一碰就冒烟。锌和含锌的合金是应该严格禁止放入高真空系统的。
2楼2011-03-05 16:16:59
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zcq4891

木虫 (小有名气)


我说一说,不一定对,互相交流一下。
你的电压是250V,溅射过程有几十伏的波动应该是不正常的。我估计是溅射过程的气压不稳定。
看了你的SEM形貌,请问你的膜是不是比较厚?我做的几十个纳米厚的薄膜是圆球状的,不过800多纳米的薄膜也和你差不多。
3楼2011-03-14 11:17:11
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