应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】有关用合金靶磁控溅射氧化锌薄膜的问题
31/1返回列表
查看: 455  |  回复: 2
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

happycc288

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】有关用合金靶磁控溅射氧化锌薄膜的问题

我所镀的氧化锌薄膜总出现颗粒大小不均匀的情况，而且溅射的时候电压总不能稳定，时而上升时而减小，多半是上升，一次实验下来要浮动几十伏特。功率在125瓦，电流0.5左右，电压250左右。附件有两张SEM，希望有大侠能指点迷津，太感谢了  专家一定要帮帮我啊！！！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2011-03-05 14:03:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hrandy

金虫 (正式写手)
锌的熔点低只有400多度，而且低温下饱和蒸气压也很高，进入真空系统后温度稍高点就能超过本低真空。磁控溅射离子轰击能产生上万度高温，一碰就冒烟。锌和含锌的合金是应该严格禁止放入高真空系统的。
赞一下 回复此楼
2楼2011-03-05 16:16:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zcq4891

木虫 (小有名气)
我说一说，不一定对，互相交流一下。
你的电压是250V，溅射过程有几十伏的波动应该是不正常的。我估计是溅射过程的气压不稳定。
看了你的SEM形貌，请问你的膜是不是比较厚？我做的几十个纳米厚的薄膜是圆球状的，不过800多纳米的薄膜也和你差不多。
赞一下 回复此楼
3楼2011-03-14 11:17:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 happycc288 的主题更新
31/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭