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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 【求助】请教溅射Al和Cu金属膜问题
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lknife

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请教溅射Al和Cu金属膜问题

这是我在载玻片上镀的Cu/Al双层膜的表面，Cu在底层，Al在表层，采用的方法是中频磁控溅射，常温沉积，Ar气环境，气压0.16Pa，溅射电压约500多伏，基片负偏压100VDC，200VAC，表面出现如图所示的突起，似乎重重叠叠多层，请问这个情况的原因是因为污染物掉落导致的还是其他原因？我用其他工艺镀的膜也出现了类似的情况

   上图是Cu表面，当时没加偏压，因此表面显得比较粗糙，而且Cu的表面形成了特殊形貌
    下图是加了偏压后先镀Cu后镀Al的表面，肉眼观察是比较好的镜面，但SEM下观察仍然是颗粒构成





[ Last edited by lknife on 2011-1-6 at 10:48 ]
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1楼 2011-01-06 10:45:45
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dongrg218

金虫 (正式写手)
★
lknife(金币+1):谢谢参与
这个.............
不太懂，有兴趣
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2楼2011-02-17 15:16:02
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灌口一舟

铁虫 (小有名气)
★
lknife(金币+1):谢谢参与

你镀膜表面抛光了吧？靶材质量怎么样（纯度、均匀性、致密度等），双靶溅射？能否镀合金膜？Cu-Al合金膜？
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3楼2011-02-22 14:51:35
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