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sam3303

至尊木虫 (著名写手)


[交流] 【求助】纳米级光刻掩膜板 !!

本人想购买光刻掩模板,图案为1x1μm的小孔阵列(或小孔尺寸更小一些),请问,哪些单位或公司可以做这样的掩模板,大约多少钱?
非常感谢!!!
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zm999ren

金虫 (小有名气)


sam3303(金币+1): 2010-11-25 09:02:01
能做这么小吗,不懂。
坐等专家
2楼2010-11-24 17:50:10
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solar散人

金虫 (正式写手)


sam3303(金币+3): 2010-12-01 11:43:53
南京大学,可以做的。给你一个网址,你打电话问问,估计要一万左右吧。http://page.chinahr.com/default/ ... 71_10463/index.aspx

我之前做的是纳米压印用模板,不知道他们能不能做掩模板。不过他们能做结构很小的模板。
3楼2010-11-26 14:32:17
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maike

捐助贵宾 (著名写手)


sam3303(金币+3): 2010-12-01 11:44:07
苏州与深圳的半导体厂都可以做的,还有北京半导体所都可以,三千左右一个吧。
4楼2010-11-26 15:21:09
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quanten

金虫 (著名写手)


sam3303(金币+2): 2010-12-01 11:44:22
很容易做的,电子束曝光
5楼2010-11-26 16:25:47
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)

sam3303(金币+2): 2011-03-12 20:47:13
本帖内容被屏蔽

6楼2011-01-25 10:50:18
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tomcobra

木虫 (正式写手)


sam3303(金币+2): 2011-03-12 20:47:19
要用EBL了
7楼2011-01-26 20:16:35
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dugu

木虫 (小有名气)


sam3303(金币+2): 2011-03-12 20:47:25
1 um的孔还是很容易做的~
8楼2011-01-27 14:20:49
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