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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 【求助】纳米级光刻掩膜板 ！！
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sam3303

至尊木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】纳米级光刻掩膜板 ！！

本人想购买光刻掩模板，图案为1x1μm的小孔阵列（或小孔尺寸更小一些），请问，哪些单位或公司可以做这样的掩模板，大约多少钱？
非常感谢！！！
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1楼 2010-11-24 16:06:45
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quanten

金虫 (著名写手)
sam3303(金币+2): 2010-12-01 11:44:22
很容易做的，电子束曝光
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5楼2010-11-26 16:25:47
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zm999ren

金虫 (小有名气)
sam3303(金币+1): 2010-11-25 09:02:01
能做这么小吗，不懂。
坐等专家
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2楼2010-11-24 17:50:10
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solar散人

金虫 (正式写手)
sam3303(金币+3): 2010-12-01 11:43:53
南京大学，可以做的。给你一个网址，你打电话问问，估计要一万左右吧。http://page.chinahr.com/default/ ... 71_10463/index.aspx

我之前做的是纳米压印用模板，不知道他们能不能做掩模板。不过他们能做结构很小的模板。
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3楼2010-11-26 14:32:17
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maike

捐助贵宾 (著名写手)
sam3303(金币+3): 2010-12-01 11:44:07
苏州与深圳的半导体厂都可以做的，还有北京半导体所都可以，三千左右一个吧。
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4楼2010-11-26 15:21:09
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