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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 【求助】纳米级光刻掩膜板 ！！
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sam3303

至尊木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】纳米级光刻掩膜板 ！！

本人想购买光刻掩模板，图案为1x1μm的小孔阵列（或小孔尺寸更小一些），请问，哪些单位或公司可以做这样的掩模板，大约多少钱？
非常感谢！！！
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1楼 2010-11-24 16:06:45
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solar散人

金虫 (正式写手)
sam3303(金币+3): 2010-12-01 11:43:53
南京大学，可以做的。给你一个网址，你打电话问问，估计要一万左右吧。http://page.chinahr.com/default/ ... 71_10463/index.aspx

我之前做的是纳米压印用模板，不知道他们能不能做掩模板。不过他们能做结构很小的模板。
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3楼2010-11-26 14:32:17
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