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【求助】Ar 溅射(Ar etching)是什么意思
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xiaoxin7858
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【求助】Ar 溅射(Ar etching)是什么意思
经常看文献里出现Ar 溅射(Ar etching)120s,请教各位催化大侠,这样做的目的是什么啊?小弟拜谢
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2010-11-18 16:39:26
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zhangwengui330(金币+2):谢谢应助!! 2010-11-18 19:44:58
xiaoxin7858(金币+5):明白了,谢谢您 2010-11-18 20:19:14
可以除去表面的污染物!也可以剥离表面覆盖层!
我们用过!
Applied Catalysis A: General
Volume 352, Issues 1-2, 15 January 2009, Pages 259-264
doi:10.1016/j.apcata.2008.10.020
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2010-11-18 19:17:02
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