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xiaoxin7858

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[交流] 【求助】Ar 溅射（Ar etching）是什么意思

经常看文献里出现Ar 溅射（Ar etching）120s，请教各位催化大侠，这样做的目的是什么啊？小弟拜谢

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1楼 2010-11-18 16:39:26

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

zyhou

专家顾问 (文坛精英)

★ ★
zhangwengui330(金币+2):谢谢应助！！ 2010-11-18 19:44:58
xiaoxin7858(金币+5):明白了，谢谢您 2010-11-18 20:19:14

可以除去表面的污染物！也可以剥离表面覆盖层！

我们用过！
Applied Catalysis A: General
Volume 352, Issues 1-2, 15 January 2009, Pages 259-264
doi:10.1016/j.apcata.2008.10.020

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