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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 催化 » 催化反应 » 【求助】Ar 溅射（Ar etching）是什么意思
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xiaoxin7858

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】Ar 溅射（Ar etching）是什么意思

经常看文献里出现Ar 溅射（Ar etching）120s，请教各位催化大侠，这样做的目的是什么啊？小弟拜谢
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1楼 2010-11-18 16:39:26
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zyhou

专家顾问 (文坛精英)
★ ★
zhangwengui330(金币+2):谢谢应助！！ 2010-11-18 19:44:58
xiaoxin7858(金币+5):明白了，谢谢您 2010-11-18 20:19:14
可以除去表面的污染物！也可以剥离表面覆盖层！

我们用过！
Applied Catalysis A: General
Volume 352, Issues 1-2, 15 January 2009, Pages 259-264
doi:10.1016/j.apcata.2008.10.020
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2楼2010-11-18 19:17:02
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