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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】在石英衬底上镀一层SiO2薄膜，用什么方法使膜厚达到微米量级
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mcmmh2006

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】在石英衬底上镀一层SiO2薄膜，用什么方法使膜厚达到微米量级 已有12人参与

如题。
  最好能讲的详细点啊，化学的方法，有文献最好！小妹万分感谢！！


[ Last edited by mcmmh2006 on 2010-7-31 at 10:03 ]
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1楼 2010-07-27 10:10:18
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
mcmmh2006(金币+1):谢谢 2010-07-31 10:03:29
PECVD 方法直接制备SiO2层在石英衬底上，要多厚就可以多厚
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2楼2010-07-27 22:03:40
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doublewei

银虫 (小有名气)
mcmmh2006(金币+1):谢谢 2010-07-31 10:03:39
mcmmh2006(金币+1):谢谢 2010-07-31 10:03:57
mcmmh2006(金币+1):谢谢 2010-07-31 10:04:09
电子束蒸发
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3楼2010-07-28 08:54:13
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191662530

金虫 (正式写手)

学的够本就行
mcmmh2006(金币+1):谢谢 2010-07-31 10:03:03
可以采用液相沉积制备
赞一下 回复此楼
望学而优则达，达则兼济天下
4楼2010-07-28 10:02:46
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fcjia515178

金虫 (小有名气)
mcmmh2006(金币+1):谢谢 2010-07-31 10:02:54
你可以采用金属等离子体化学气相沉积。采用某种气体和氧化物反应。
赞一下 回复此楼
慢慢做，不要着急。
5楼2010-07-31 09:51:57
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good256

铜虫 (正式写手)
★
ppjason(金币+1):3x 2010-09-11 10:14:26
直接使用PECVD或者PCVD就可以了
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6楼2010-09-11 01:58:42
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good256

铜虫 (正式写手)
★
ppjason(金币+1):3x 2010-09-11 10:14:33
化学气相沉积也可以呀
赞一下(1人) 回复此楼
7楼2010-09-11 01:59:40
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haode22

金虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by doublewei at 2010-07-28 08:54:13:
电子束蒸发

电子束做厚膜怕是有点困难哦
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逐渐成为工作狂，技术狂.............
8楼2010-09-13 19:52:21
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zhl028

铁杆木虫 (小有名气)
EB-PVD
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9楼2010-09-14 18:46:21
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xuhainiao

木虫 (小有名气)
还是CVD比较好
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luckyxuhaipeng@gmail.com
10楼2010-10-14 10:39:20
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