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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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mcmmh2006

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】在石英衬底上镀一层SiO2薄膜,用什么方法使膜厚达到微米量级 已有12人参与

如题。
  最好能讲的详细点啊,化学的方法,有文献最好!小妹万分感谢!!


[ Last edited by mcmmh2006 on 2010-7-31 at 10:03 ]
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good256

铜虫 (正式写手)


ppjason(金币+1):3x 2010-09-11 10:14:26
直接使用PECVD或者PCVD就可以了
6楼2010-09-11 01:58:42
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查看全部 19 个回答

cord

铁杆木虫 (著名写手)


mcmmh2006(金币+1):谢谢 2010-07-31 10:03:29
PECVD 方法直接制备SiO2层在石英衬底上,要多厚就可以多厚
2楼2010-07-27 22:03:40
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191662530

金虫 (正式写手)

学的够本就行

mcmmh2006(金币+1):谢谢 2010-07-31 10:03:03
可以采用液相沉积制备
望学而优则达,达则兼济天下
4楼2010-07-28 10:02:46
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fcjia515178

金虫 (小有名气)

mcmmh2006(金币+1):谢谢 2010-07-31 10:02:54
你可以采用金属等离子体化学气相沉积。采用某种气体和氧化物反应。
慢慢做,不要着急。
5楼2010-07-31 09:51:57
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